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當前位置：首頁 >產品中心>半導體前處理>安賽斯勻膠機/旋涂儀>HC220SE精密勻膠機
產品分類
Product Category詳細介紹
產品特色
? 采用高級PLC模塊，工業級伺服電機；8英寸彩色觸屏控制，人機界面；
? HDPE高分子內腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；內腔壁采用凹面設計，有效防濺；
? 可編程寫和存儲100組程序，每組100步；
? 帶真空度安全互鎖檢測功能；帶蓋子安全互鎖檢測功能；帶排廢接口；
? 具有電機進膠保護功能；管路易疏通設計；具有真空不足提示及保護功能，具有斷電后參數自動保存功能。
? 正、反轉旋涂方向可自由切換；旋涂參數可設置循環執行；速度-時間曲線實時顯示；
? 可設置用戶密碼保護功能；配置可調基座，方便調節水平；
性能參數
? 適用晶元尺寸范圍：?5~220mm；
? 旋涂速度：0~10000rpm；轉速分辨率：1rpm；旋涂加速度：0-50000rpm/s（空載）；
? 最大旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；
? 內腔壁采用凹面防濺設計；
? 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序100步；
? 均勻性：<±3%(需去邊3mm區域測量)；
? 電源輸入：AC200-230V；
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